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题名:
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纳米加工技术与原理 [ 专著] na mi jia gong ji shu yu yuan li / (加)Maria Stepanova，(加)Steven Dew编 , 段辉高[等]译 |
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ISBN:
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978-7-118-12322-7 价格： CNY119.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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12,318页 图(10页) 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2021 |
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内容提要:
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本书分为十三章，内容包括：纳米加工研究方向简介、电子束曝光与显影的基本原理、电子束曝光与抗蚀剂工艺的模拟仿真、氦离子光刻的原理及性能、纳米压印技术、原子层沉积纳米技术等。 |
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主题词:
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纳米材料 加工 |
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中图分类法:
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TB383 版次： 5 |
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主要责任者:
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斯捷潘诺娃 si jie pan nuo wa 编 |
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主要责任者:
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德夫 de fu 编 |
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次要责任者:
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段辉高 duan hui gao 译 |
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附注:
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装备科技译著出版基金 |